完全集成和校準的MEMS慣性傳感器的出現(xiàn)，可能是促使平臺穩(wěn)定、工業(yè)機械運動控制、安全/監(jiān)控設備、機器人、工業(yè)車輛導航和機械調平等領域系統(tǒng)升級的關鍵因素。

　　最近的傳感器技術發(fā)展使得工業(yè)系統(tǒng)設計實現(xiàn)革命性的進步。慣性傳感器能夠改善系統(tǒng)性能的應用包括：平臺穩(wěn)定、工業(yè)機械運動控制、安全/監(jiān)控設備、機器人、工業(yè)車輛導航和機械調平等。這種傳感器提供的運動信息非常有用，不僅能改善性能，而且能提高可靠性、安全性并降低成本。

　　然而，要想獲得這些好處，必須克服一些障礙，因為許多工業(yè)應用處在惡劣的物理環(huán)境下，需要考慮溫度、振動、空間限制和其他因素的影響。就工程師而言，為了從傳感器獲取一致的數據，將其轉換成有用的信息，然后在系統(tǒng)的時序和功耗預算內做出反應，工程師必須擁有多種技術領域的知識和經驗，并且遵循良好的設計規(guī)范。

　　了解問題

　　來自慣性傳感器的信息經過處理和積分后，可以提供許多不同類型的運動、位置和方向輸出。每種類型的運動都涉及到一系列應用相關的復雜因素，對此必須加以了解。工業(yè)控制應用就是一個很好的例子，某種形式的指向或轉向設備對這些應用十分有用。傾斜或角度檢測常常是此類應用的核心任務，在最簡單的范例中，機械氣泡傳感器便可滿足需要。然而，在明確傳感器需求之前，必須分析最終系統(tǒng)的完整運動動力學特性、環(huán)境、壽命周期和可靠性預期。如果系統(tǒng)的運動相對而言為靜態(tài)，簡單的角度傳感器可能就足夠了，但實際的技術決策取決于響應時間、沖擊和振動、尺寸、整個壽命期間的性能漂移。此外，許多系統(tǒng)涉及到多種類型的運動(如旋轉和加速度等)，而且往往在多個軸上工作，這就需要考慮將多種類型的傳感器結合在一起。

　　一旦知道正確的傳感器類型和技術后，挑戰(zhàn)便轉移到了解和最終補償傳感器對環(huán)境(溫度、振動、沖擊、安裝位置、時間和其他變量)的反應。環(huán)境補償涉及到額外的電路、測試、校準和動態(tài)調整，而每種類型的傳感器，甚至每個傳感器都是獨一無二的，因此這又會帶來補償不足或過度的額外風險，除非工程師對傳感器特性有著詳盡的了解。最后這一點驅使許多設計工程師采用完全集成的傳感器解決方案，以便消除運用和實施過程中的障礙。

　　慣性傳感器：線性速率和角速率傳感器

　　慣性傳感器有多種類型。MEMS(微機電系統(tǒng))傳感器是最完善的傳感器類型之一，已經使廣泛的應用受益。15年前，MEMS線性速率傳感器(加速度計)徹底革新了汽車安全氣囊系統(tǒng)。自此以后，從筆記本硬盤保護到游戲控制器中更為直觀的用戶運動捕捉，各種獨特的功能和應用得以實現(xiàn)。

　　根據諧振器陀螺儀的原理，MEMS結構也可提供角速率檢測。兩個多晶硅檢測結構各含一個擾動框架，通過靜電將擾動框架驅動到諧振狀態(tài)，以產生必要的運動，從而在旋轉期間產生科氏力。在各框架的兩個外部極限處(與擾動運動正交)是可動指，放在固定指之間，形成一個容性撿拾結構來檢測科氏運動。當 MEMS陀螺儀旋轉時，可動指的位置變化通過電容的變化進行檢測，由此得到的信號被送入一系列增益和解調級，產生電速率信號輸出。某些情況下，該信號經轉換后送入一個專有數字校準電路。

　　傳感器內核周圍的集成度和校準由最終性能要求決定，但在許多情況下，可能需要進行運動校準，以便實現(xiàn)最高的性能水平和穩(wěn)定性。

　　工業(yè)環(huán)境：集成信號調理和傳感器處理

　　在工業(yè)市場上，諸如振動分析、平臺校正、一般運動控制之類的應用需要高集成度和高可靠度的解決方案，檢測元件在許多情況下是直接嵌入到現(xiàn)有設備中。此外，還必須提供足夠的控制、校準和編程功能，使器件真正獨立自足。一些應用范例包括：

　　·工業(yè)機械的狀態(tài)監(jiān)控：通過將傳感器更深地嵌入機械內部，并且藉由傳感器性能和嵌入式處理而更早、更準確地掌握狀態(tài)變化的跡象，可以獲得切實的效益。

　　·機器自動化：通過提高精度，并且更加嚴格地將此信息與遠程控制或編程設置的運動相關聯(lián)，可以使自治或遠程控制的精密儀器和機械臂更加精確、高效。